浸液系统,听起来是一个普通得再也不能普通的名词,但在光刻系统里是一个新名词。你可以认为它很简单,但要弄清楚这个系统,却需要很长一段时间。
    这个浸液系统不是那么好研究的,牵涉问道控制、气泡去除、液体选择等等一系列的问题,去离子水只是其中最简单的一种。
    等同行开始研究什么是浸液系统时,重世研究院新一轮研究又紧锣密鼓地开展起来,都是针对波长50nm左右的。
    这不是一个简单的升级换代,可能会出现一些划时代的成果。
    在这次项目讨论的最终会议上,面对三十七个项目负责人,龙建华提出,“芯片生产大的方面,我们的光刻和蚀刻已经处于世界顶尖水平。即使如此,光刻工序中,在硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘等工序还只能算作一般水平,有的甚至还落后于同行;在其它工序上,也只有封装这一道工序处于世界前茅。”
    “有人说我自不量力,想把芯片生产设备全部自己开发,力抗整个世界。我们要知道,我们的研究院就是世界级的,这么大一个研究院,半导体研究方面的人才就超过一万,世界其它国家在研的也只有这个数,为何不能力抗全世界?”
    “这次突破,对我们超越或追上同行是一个很好的机会。我们现在有157nm,遇到了不少问题,这是我们先知先觉的,是优势。大家都在犹豫的时候,我们方向明确,一鼓作气追上去。追上他们,超越他们。”
    根据半导体事业部和销售总公司商议的结果,两年内不出售这样的光刻机,使得自己保持一段时间的优势;虽然157nm只是一个过渡性的,但这个设想是重世研究院研究出来的,并没对外公布技术线路,加上已经申报大量专利,别人要想研制出这样的光刻机,也至少需要两年。
    有两年时间,可以做很多事情,甚至可能会出现50nm的芯片。
    对芯片的生产设备,龙建华只“知道”一些节点,比如浸液系统,比如下一步在50nm……令他郁闷的是,人家筠研在试验出157nm后,马上断言下一步就是这个数。
    外行就是外行,真正的专家就是真正的专家,死记硬背总是比不上人家的理解与推理……
    有157nm芯片壮腰,重世集团宣布对家电产品进行升级,自动化程度更高,使用更方便,引发各种同行大为紧张。
    有的是重世芯片的老顾客,马上下单订购这种芯片,以求不要被重世落下;这种单子,马上被重世收了。这种订单,是增加设备数量就可以解决的事情,多多益善。
    有的发来订单,要求购买这种设备。对这样的订单,得到的答复是,要两年以后才能交货。自己要优先使用,要打一个时间差,万一被同行偷偷地研究,把那层纸捅破就很不好了,要让他们经受那层纸的折磨……
    他开完会,还没走到办公室,文翰如教授从楼梯口上来,笑着说,“龙教授,看来我的运气不错,一来就遇上了你。”
    他紧走两步,上前握着他的手说,“文教授,您怎么亲自过来了?有什么事您说一声,我过去就行。”
    文翰如教授是重世研究院光刻机研究的第一人。
    重世研究院的第一批人都是香岛华文大学的,文翰如教授、余诺伟教授以及柏东喜、孟福星、张珂蓝、彭欣菲四位副教授。
    那是只有三个团队,文翰如教授研究光刻机,余诺伟教授研究晶圆,而柏东喜四位副教授研究软件。
    十年前,文翰如教授和余诺伟教授因为年龄已经七十多,精力体力跟不上,所以退出了相应的研究所,专心在大学上课,后来课也不上了,回家颐享天年。
    其实,他们两个当时的想法,龙建华是知道的,都是因为思维不如别人的活跃,感觉已经有些吃力,故而请辞的。
    龙建华还是很感谢他们的。如果他们不请辞,他绝对不会主动要他们离开。重世研究院之所以有今天,他们的贡献巨大。
    那时候的龙建华,外面不认识几个人,主要精力放在集团的发展和找钱;而他们六人的到来,不但为研究院找来不少研究人员,项目进展也超乎他的预料,令他非常满意。
    基于这种感恩的心,他将他们的年薪一提再提,两人离开的时候,年薪都达到了六十万美刀。他们有华文大学的工资,又在这里领到这么一笔钱,还有项目的分红,迅速跨入了香岛富翁之列。
    和他走向办公室途中,龙建华开玩笑,“文教授,退休在家,精神状态越来越好。看来,天伦之乐能让人返老还童。”
    文翰如笑着说,“那还真是。人逢喜事精神爽,只要心态好了,什么病都不会上身。我现在偶尔也接接私活,给一些企业设计点设备什么的。不为赚钱,只图多动动脑子,防止老年痴呆。”
    龙建华哈哈一笑,“这个办法好。”
    请他在沙发上坐定后问道,“今天哪阵风把您给刮来了?”
    文教授哈哈笑道,“我70多公斤,一般的风挂不动。”
    玩笑两句后,他笑着说,“我是看新闻,说我们研究院的光刻机出现了历史性的突破,现在让同行心惊胆颤,所以想来看看。”
    这话,引起了龙建华的警觉。离开研究院十二年,退休五年,从没来过,今天却来了。
    不过,他表情不变地说,“也不算很大的突破。只是我们提前捅破了那层纸。如果有同行脑筋一激灵,说不定马上就可以捅破,马上和我们处于同一起跑线。所以,我们无论在新闻发布会还是对客户宣传,都是很模糊的。”
    文翰如笑着说,“我研究了那么久的光刻机,一直就困在193nm,只想看看突破后的设备,也满足我这个老光刻机的猎奇心理。”
    龙建华哈哈一笑,“说实话,我到现在都没去看过组装过程。您知道的,这是保密的需要。有些东西,很容易传出去的,所以那里已经被列为保密场所。要想看,需要等解密。”
    无论什么情况,都不会让他去看的,因为他自己也确实没去看过。能看到设备外观的,只有研究人员和相关生产系统人员;而能看到零部件以及组装图的,只能是研究所那十来人。
    龙建华这么清楚地讲出来,文翰如也不好强求,他在这里干过,知道强求不来的。在规章制度面前,任何人的面子都不会看。
    作为老板的龙建华都这么坚持,起模范带头作用,他还能说什么呢?
    对龙建华而言,这是制度,没有例外。

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